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微电子技术

  •     在一个微小面积中制造出复杂的电子系统,这就是微系统电子学,简称微电子学。它包括系统和电路设计,工艺技术、材料制备、自动测试等一系列专门技术。目前已经做到0.1µm并向更小的尺寸进军。空间尺度在0.1-100nm定义为纳米空间,在纳米空间电子的波动性质将以明显的优势显示出来,于是纳米电子技术应运而生。可以看到微电子学向纳米电子学发展的必然趋势。

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